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流量計(jì)中NB壓力傳感器的設(shè)計(jì)“難點(diǎn)”解析
點(diǎn)擊次數(shù)：947 更新時(shí)間：2021-11-12
隨著科技發(fā)展自動(dòng)化技術(shù)的進(jìn)步，在工業(yè)設(shè)備中我們常見(jiàn)的NB壓力傳感器除了液柱式壓力計(jì)、彈性式壓力表外，目前更多的是采用可將壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的壓力傳感器。壓力傳感器是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器。通常傳感器由兩部分組成，即分別是敏感元件和轉(zhuǎn)換元件。
流量計(jì)的壓力傳感器是目前應(yīng)用廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,利用壓電效應(yīng)把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)壓力的大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS技術(shù)的發(fā)展,壓力傳感器性能得到大幅提高，不僅體積小、質(zhì)量輕、功耗小，而且精度、穩(wěn)定性、可靠性更高，這也大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場(chǎng)。高溫壓力傳感器主要是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體、液體壓力的測(cè)量，廣泛用于鍋爐、管道、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力、井下壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測(cè)、油井測(cè)壓等領(lǐng)域壓力的測(cè)量。這些領(lǐng)域中傳感器都處于高溫環(huán)境條件下工作，使得傳感器的放大電路工作很容易失效，這也是高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)的難點(diǎn)。理想的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離，其中傳感器件由MEMS工藝來(lái)實(shí)現(xiàn),信號(hào)激勵(lì)與信號(hào)處理由計(jì)算機(jī)來(lái)完成。
現(xiàn)在研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS、SOI、SiO2、Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小等優(yōu)點(diǎn),而且流量計(jì)只對(duì)壓力敏感,對(duì)應(yīng)力不敏感,所以,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
